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微型机械(MEMS)装配技术 – 微米纳米网
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微米和纳米科技材料

微型机械(MEMS)装配技术

微型机械(MEMS)装配技术

犷i描陇道显橄加工技术是纳米加工技术中鼓新发展.可实砚原子、分子的橄迁,去除。增婚和排列,组.是实现极限加工成原子级栩加L的最肠技术。近年来扫描隧道显徽加工技术.即原子级加工技术获得了迅速的发展,取得了多项重,成果。1990年臾国圣两赛IBM阿尔马登研究所的D.M.E澎er等人.在4K和翅真空环境中,用STM将Ni (110)表面吸附的Xe《淑)原子逐一橄迁,最终I’.l 35个Xe原子排列成IBM兰个字母.每个字母高Snm. Xe原子间即约为Inm。这种旅于城迁的方法就是使显徽镜探针针尖对准选中的Xe耳子.位峨子间作用力达到让Xe原子暇蔺针尖移动到指定位,而不脱离Ni的农面。

微型机械(MEMS)装配技术

将STM用于纳米级光刻加I时.具有极细的光斑直径.可以达到原子级.这样可使加工特址和加工工其处于同一尺度。其次是所产生的二次电子对线宽形响很小.而且成本较低.叮以在大气蕊至浪体介质巾工作。共国川M公司的M. A. Muvrd等.在凡片上均匀租趁一足耳20nm的.甲荃丙姆胶甲瓜(PMMA),然后用扫描隧通显橄镜(STM)进行先刻,得到lOnm宽线条的图案。其后.M. A. Mcocord等又相醉研侧成功13.Snm厚的Au-Pd合金薄膜电阻。

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