微米和纳米科技材料

激光辐照金属氧化物薄膜和纳米结构

7、Adv.Mater.综述:激光辐照金属氧化物薄膜和纳米结构
激光辐照金属氧化物薄膜和纳米结构

图7 金属氧化物薄膜和纳米结构中的激光诱导现象及其在各种功能器件中的应用

最近开发的各种激光器方面的技术进步为材料加工开辟了新的途径。材料的激光加工能快速和局部集中能量,同时产生电子和热力学非平衡的条件。激光诱导的热量可以局限在空间和时长上,从而可以很好地控制材料的操作。金属氧化物对于从微电子到医药的应用具有重要意义。近日,弗吉尼亚理工学院Shashank Priya、韩国科学技术研究所Keon Jae Lee、韩国材料科学研究所Jungho Ryu(共同通讯作者)等人通过简要概述激光材料相互作用的原理,回顾了激光辐照金属氧化物薄膜和纳米结构的各种应用。最后总结了激光辅助金属氧化物加工的最新进展。

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