微米和纳米

2018年微纳米加工技术讲习班报名开始了!

微纳加工领域最受欢迎的专业培训课“微纳米加工技术讲习班”开始报名了

小伙伴们还记得去年讲习班的火热场面吧!

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微纳米加工技术讲习班由中科院物理所微加工实验室于2005年开始举办,旨在系统介绍微纳米加工技术的基础、应用和最新前沿进展,目前已成功举办9次,累计参加人数2800余人,学员自全国各高校、科研院所和高科技公司。

2018年中科院物理所微纳米加工技术讲习班时长:7月9-13日。

报名参加微纳米加工技术讲习班的学员,全程免学费还可以领取讲习班课程配套的书籍。报名学员有机会进入实验室现场观摩微纳加工设备的操作演示。

报名人员:仅限从事微纳米技术研究的科技人员,高校研究生与高年级本科生。

报名方式:本次讲习班采用网上注册报名的方式,请登录微加工实验室网站https://lmf.iphy.ac.cn/,点击右下角“微加工讲习班”,了解有关本次讲习班的详细信息,进行注册报名。

讲习班海报:

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讲习班课程介绍:

微纳米加工技术综述;光学曝光技术;电子束曝光技术;聚焦离子束加工技术;激光直写加工技术;纳米压印技术;等离子体刻蚀技术;薄膜技术;自组装加工技术;微纳米加工技术的应用

邀请知名专家做专题报告:今年我们邀请到六位国内外微纳米加工及相关领域的知名专家来做专题报告。

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1. 周济,清华大学教授,中国工程院院士

报告主题:非金属超材料的制备与调控

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2. 方绚莱,麻省理工学院教授 (终身教授)

报告主题:Teaching Old Waves New Tricks: The Quest For Meta-Materials

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3. 王新强,北京大学教授(长江特聘教授)

报告主题:氮化物半导体量子结构外延和制作

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4. 崔波,滑铁卢大学教授

报告主题:Nanofabrication on non-flat irregular surfaces

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5. 夏科骏, NXP半导体公司, 博士

报告主题:硅基半导体器件:结构,测量及模型

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6. 郑东宁,中国科学院物理研究所研究员

报告主题:超导量子比特器件

讲习班的主办机构简介:中科院物理所微加工实验室于2003年开始运行,2008 年成为科学院“纳米材料与纳米结构加工平台”,2009 年加入“中科院所级公共技术服务中心”和2010 年成为“基金委纳米制造重大研究计划联合实验室”,目前微加工实验室已发展成为面向国内外的技术服务平台,为国内微纳加工技术和人才的交流提供了一个舞台。

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微加工实验室现有固定人员9人,其中研究员1人,主任工程师2人,副主任工程师3人,工程师3人。在读研究生共11人,是一支以青年人为主的富有活力的专业技术创新团队。

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微加工实验室团队

承担国家科技部、基金委、科学院的重大、重点及一般科研项目30余项,合作发表SCI论文200余篇,获国家授权发明专利20余项,2015年纳米级长度标准样品获国家一级标准物质认证,2015年获北京市科学技术二等奖。

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学员培训

拥有包含万级、千级和百级的近1000 平米超净实验室,主要装备有加工、刻蚀、沉积、表征、测量及相关辅助设备60余台,微纳加工能力涵盖从微米到亚纳米,从零维到三维。

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电子束曝光系统2台(EBL)

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聚焦离子束刻蚀与沉积系统3台(FIB)

微加工实验室研究方向:

微纳人工结构的加工方法与工艺研究

微纳人工结构的新奇物性研究

微纳人工结构的器件与集成应用研究

主要研究成果简介:

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更多信息请关注实验室主页https://lmf.iphy.ac.cn/

编辑:太阳骑士07

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