“航母级”纳米材料研发平台来了！

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科技日报记者刘园园

一个“航母级”的纳米材料和器件开发平台正在苏州市工业园区悄然成型。

科技日报记者从23日至24日召开的香山科学会议了解到，该平台全称为纳米科技真空互联综合实验装置，而且有个很酷的英文名字：Nano-X。

“总体方案是，用总长接近500米的超高真空管道将上百台用于纳米材料生长、器件制备、测试分析的大型仪器设备互联在一起。”中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所王永疆博士介绍。

Nano-X建成后，将成为世界上首个集纳米材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置，也将是未来纳米材料研究与器件开发最先进的开放平台。目前该实验装置已经完成基本建设，下个月将开始实验设备和真空管道搭建。

该平台的关键词之一是“超高真空”。

王永疆告诉科技日报记者，研究纳米尺度的材料与器件，不仅需要具有超高分辨能力的高端仪器设备，还需要某些极端条件和环境，其中超高真空环境尤为重要。

“只有在超高真空下，纳米材料的表面才不会被氧化或沾污，从而保持材料的本征性质。” 王永疆说。

纳米器件的开发也是如此。后摩尔时代，越来越多的电子器件进入纳米尺度，材料的表面、界面特性对器件性能的影响越来越大。

比如，一根直径如头发丝的纳米器件，在封装之前，即使表面沾上一粒灰尘，也会对整个器件的性能产生极大影响。而Nano-X的设备环境则可以避免这类问题。

Nano-X的另一个关键词是“互联”。

王永疆表示，传统上对纳米材料的设计和制备需要通过多次实验进行，这种做法周期长、效率低。Nano-X实现了多种研发设备之间的真空互联，可以在同一平台上按照需求进行新材料的探索，同时为新一代半导体器件的研发提供从基础研究到产业化的全链条支撑。

“Nano-X的目标是，成为世界级的纳米材料和器件研究中心。”王永疆介绍，该平台由中国科学院和江苏省共同投资建设，总占地面积约80亩，预计前期耗资7亿元人民币。